Micronova, soveltavan mikro- ja nanoteknologian keskus

VTT MEMSFAB toimii Micronovan tiloissa Espoossa. Micronovassa on Pohjoismaiden suurin T&K-käytössä oleva puhdastila. Micronova on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä. Se on osa Suomen kansallista mikro-, nano- ja kvanttiteknologian tutkimusinfrastruktuuria OtaNanoa.

Lyhyesti Micronovasta

Micronovassa on kaksi puhdastilaa, joissa voidaan prosessoida piipohjaisille CMOS-, MEMS-ja fotoniikkakomponenttien ja ohutkalvokomponentteja sekä tehdä 3D-integrointia.

Tarjoamme puhdastilapalveluita ja koko mikro- ja nanovalmistuksen kehityssyklin perustutkimuksesta piensarjatuotantoon.

Laitos sijaitsee Otaniemen teknologiakampuksella Espoossa, ja se on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä.

VTT tekee Micronovassa mikroelektroniikkaan liittyvää tutkimus- ja kehitystyötä. Kehitämme innovatiivisia mahdollistavia teknologioita ja sovellamme niitä käytännön mikro- ja nanojärjestelmiin. Micronovassa on kaksi puhdastilaa, jotka yhdessä muodostavat Pohjoismaiden suurimman t&k-käytössä olevan puhdastilan. VTT MEMSFAB -palvelut mahdollistavat pienimuotoisen puolijohteiden valmistuksen Micronovassa.

Micronova on suomalaisen elektroniikkateollisuuden ekosysteemin keskus. Puhdastiloissa voidaan prosessoida piipohjaisia CMOS-, MEMS- ja fotoniikkakomponenttien ja ohutkalvokomponentteja sekä tehdä 3D-integrointia. Micronovan puhdastiloissa tutkijamme innovoivat ja kehittävät uusia antureita, ilmaisimia, fotoniikkakomponentteja, passiivisia RF-komponentteja, PMUT-antureita ja muita MEMS-komponentteja sekä huippuluokan kvanttikomponentteja.

Tuotantolaboratoriossamme on erikoistuneita huollon, prosessitekniikan, laadunvarmistuksen ja käytön ammattilaisia, jotka hallinnoivat sekä t&k-hankkeiden toteutusta että tuotantoerien valmistusta. Tarjoamme puolijohdekiekkojen prosessointia monilla erilaisilla materiaaleilla ja substraateilla –VTT on sertifioitu ISO 9001 -standardin mukaisesti. Käytämme tuotantolaboratoriossa muun muassa tilastollista    prosessinohjausta (SPC) ja 8D-ongelmanratkaisua.

Palvelumme

VTT tarjoaa uusien materiaalien, teknologioiden, komponenttien, järjestelmien ja prosessien tutkimusta ja kehitystä. Tarjoamme asiakkaille myös piensarjatuotantopalveluita sekä mahdollisuuden käyttää VTT:n puhdastilaa ja prosessilaitteistoa. VTT:n ainutlaatuinen asiakkaille ja kumppaneille suunnattu palvelutarjonta sisältää koko kehityssyklin perustutkimuksesta ja prosessinkehityksestä prototyyppien valmistukseen ja piensarjatuotantoon.

Palvelumme räätälöidään asiakkaiden tarpeiden mukaan. Järjestämme myös mikro- ja nanoteknologioihin liittyvää opetusta ja koulutusta.

  • Tutkimus ja kehitys
  • Luottamukselliset tutkimustoimeksiannot
  • Materiaalien ja komponenttien karakterisointi
  • Opetus ja koulutus
  • Pienien ja keskisuuren määrien valmistus VTT MEMSFABin avulla
  • Puhdastilapalvelut
  • Puhdastilojen käyttöoikeus
Jaa
Piia Konstari

Piia Konstari

Solution Sales Lead