Micronova, soveltavan mikro- ja nanoteknologian keskus

Palvelu

Micronova sijaitsee Espoossa ja siellä on Pohjoismaiden suurin T&K-käytössä oleva puhdastila. Micronova on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä. Se on osa Suomen kansallista mikro-, nano- ja kvanttiteknologian tutkimusinfrastruktuuria OtaNanoa.

Lyhyesti

Micronovassa on kaksi puhdastilaa, joissa voidaan prosessoida piipohjaisille CMOS-, MEMS-ja fotoniikkakomponenttien ja ohutkalvokomponentteja sekä tehdä 3D-integrointia.

Tarjoamme puhdastilapalveluita ja koko mikro- ja nanovalmistuksen kehityssyklin perustutkimuksesta piensarjatuotantoon.

Laitos sijaitsee Otaniemen teknologiakampuksella Espoossa, ja se on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä.

Piia Konstari

Piia Konstari

Solution Sales Lead