Micronova

VTT:n micronova tutkimusinfrastruktuuri ilmakuvassa.

Micronova on osa Suomen kansallista mikro-, nano- ja kvanttiteknologian tutkimusinfrastruktuuria OtaNanoa. Micronovassa sijaitsee Pohjoismaiden suurin T&K käytössä oleva puhdastila. Micronova on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä. Kehitämme täällä innovatiivisia mahdollistavia teknologioita ja sovellamme niitä käytännön mikro- ja nanosysteemeihin.

Lyhyesti

Micronovassa on kaksi puhdastilaa, joissa voidaan valmistaa piipohjaisia CMOS-, MEMS-, fotoniikka ja ohutkalvokomponentteja sekä kehittää 3D-integrointia.

Tarjoamme puhdastilapalveluita ja koko mikro- ja nanovalmistuksen kehityssyklin perustutkimuksesta piensarjatuotantoon.

Micronova sijaitsee Otaniemen teknologiakampuksella Espoossa, ja se on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä. 

Micronova kuuluu Otaniemen mikro- ja nanoteknologian infrastruktuuri OtaNanoon, joka on kansallinen tutkimusinfrastruktuuri kilpailukykyisen tutkimuksen harjoittamiseen nanotieteiden ja -teknologian sekä kvanttiteknologioiden alalla. Micronovassa sijaitsee kaksi puhdastilaa, ja yhdessä nämä muodostavat Pohjoismaiden suurimman tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitetun puhdastilan. Micronovaa voi myös kuvata Suomen elektroniikkateollisuuden ekosysteemin keskuksena. Puhdastiloissa  voidaan prosessoida piipohjaisia CMOS-, MEMS- ja fotoniikkalaitteita ja ohutkalvokomponentteja sekä tehdä 3D-integrointia. Micronovan puhdastiloissa tutkijamme innovoivat ja kehittävät uusia antureita, ilmaisimia, fotoniikkakomponentteja, passiivisia RF-komponentteja, PMUT-antureita ja muita MEMS-laitteita sekä huippuluokan kvanttilaitteita.

Micronova-puhdastiloissa tutkijat kehittävät uusia innovaatioita erinäisillä alueilla kuten sensoriteknologioissa ja kvanttikomponenteissa.

Micronovan prosessointiin ja komponenttien kehitykseen liittyvä tarjonta voidaan jakaa kuuteen eri teknologia-alustaan:

  • Aktiiviset piikomponentit

Säteilyilmaisimet ja  sovelluskohtaiset CMOS-komponentit. Sovellukset vaihtelevat röntgensädedetektoreista luku-elektroniikkaan ja kvanttiteknologiaan. ASIC-suunnitteluympäristö ja osaaminen.

  • Piifotoniikka ja integrointi

Integroidut optiset piirit, joilla on pieni häviö, vähäinen polarisaatioriippuvuus ja pieni koko. Hybridi- ja monoliittinen integrointi tietoliikenne- ja sensorisovelluksiin.

  • MEMS & MOEMS

SOI MEMS komponentit, pintamikromekaniikkaan perustuvat MEMS komponentit ja Fabry-Perotinterferometrit. Sovellukset vaihtelevat autojen ja lääketeollisuuden antureista  ajastinpiireihin.

  • Ohutkalvoiset RF-komponentit ja integrointi

Ohutkalvotekniikalla toteutetut pietsosähköiset mikroakustiset komponentit, kuten BAW-suodattimet, piiaaltoputket millimetriaalloille ja THz-taajuuksille, sekä integroidut passiiviset komponentit (IPD).

  • Suprajohtavat komponentit ja tunneliliitos komponentit

Monikerrosvalmistusprosessi antureille ja suprajohtavaan elektroniikkaan. Sovellukset vaihtelevat lääketeollisuudessa tarvittavista antureista kvanttilaskentaan.

  • 2D-materiaaleihin pohjautuvat komponentit ja integrointi

Grafeeniin ja muihin 2D-materiaaleihin perustuvat  komponentit biomittaukseen, integroituun fotoniikkaan, säteilyn ja THz-taajuuksien ilmaisemiseen.uusiin laskenta- ja tietoliikennealustoihin. Kiekkotason integrointipalvelut.

Maailmanluokan tutkimus- ja kehitysinfrastruktuuri

Micronova sijaitsee Otaniemen teknologiakampuksella Espoossa, ja se on VTT:n ja Aalto-yliopiston yhteiskäytössä.  Rakennuksessa on myös muita laboratorioita pääasiassa karakterisointiin, järjestelmätason testaukseen ja avaruuskvalifiointiin, kuten ESAn ulkoinen millimetriaaltotekniikkaan keskittyvä laboratorio MilliLab. Kvanttitasoisten ja kryogeenisten ilmiöiden sekä optiikan ja fotoniikan karakterisointiin on omat laboratoriot. Käytettävissä on myös anturilaboratorio kaikkiin elektroniikan kehittämistarpeisiin.

VTT:n Micronova-puhdastila on sertifioitu ISO 9001:2008 -standardin mukaisesti valmistus-, piensarjatuotanto- ja laitoskunnossapitotoiminnan osalta.

Micronovan lisäksi VTT:llä on puhdastila Oulussa. Oulun puhdastilassa tutkijamme kehittävät pakkauksiin integroitavia hybridiratkaisuja, kuten mikromoduuleja, painettua älyä ja matalan lämpötilan keramiikka (LTCC) -ratkaisuja.

Palvelumme

VTT tarjoaa uusien materiaalien, teknologioiden, komponenttien, järjestelmien ja prosessien tutkimusta ja kehitystä. Tarjoamme asiakkaille myös piensarjatuotantopalveluita sekä mahdollisuuden käyttää VTT:n puhdastilaa ja prosessilaitteistoa. VTT:n ainutlaatuinen asiakkaille ja kumppaneille suunnattu palvelutarjonta sisältää koko kehityssyklin perustutkimuksesta ja prosessinkehityksestä prototyyppien valmistukseen ja piensarjatuotantoon.

Palvelut räätälöidään asiakkaiden tarpeiden mukaan. Järjestämme myös mikro- ja nanoteknologioihin liittyvää opetusta ja koulutusta.

Micronovan tarjoamat palvelut:

  • Tutkimus ja kehitys
  • Luottamukselliset toimeksiannot
  • Materiaalien ja laitteiden karakterisointi
  • Opetus ja koulutus
  • Puhdastilapalvelut
  • Puhdastilojen käyttöoikeus
Jaa