VTT on saattanut päätökseen puhdastilansa laitteiston muuntamisen 200 mm:n piikiekkoihin soveltuvaksi Micronovan puhdastilassaan Espoossa. Mittavassa muutoksessa vanhat 150 mm:n piikiekkojen valmistuslaitteet on muunnettu tai päivitetty tukemaan 200 mm:n piikiekkojen prosessointia. VTT:n mikrovalmistuspalvelujen johtaja Piia Konstarin mukaan investointi on osa Suomen tavoitetta vahvistaa johtavaa asemaansa eurooppalaisessa erikoistuneen mikroelektroniikan ekosysteemissä.
Lue tiivistelmä
- Päivitys mahdollistaa uusimpien teollisten teknologioiden käytön ja vahvistaa VTT:n asemaa mikrovalmistuksen tutkimuksen, kehityksen ja pilotoinnin eturintamassa.
- Hanketta tukevat merkittävät rahoittajat kuten Business Finland, Suomen Akatemia ja EU, ja se kestää 2019–2025, mikä korostaa projektin kunnianhimoa.
- Siirtyminen 200 mm:n kiekkoihin on strategisesti ja kilpailukyvyn kannalta välttämätöntä, ja se avaa ovet monimutkaisempien järjestelmäarkkitehtuurien kehittämiselle tulevaisuudessa.
Tiivistelmä on tekoälyn tekemä ja ihmisen tarkistama.
Investointi vahvistaa Suomen asemaa erikoistuneen mikroelektroniikan kehittäjänä ja vahvistaa Euroopan strategista riippumattomuutta kriittisissä teknologioissa. Pohjoismaiden puolijohdeosaamisen näkökulmasta 200 mm:n kiekkoihin siirtyminen on myös merkittävä edistysaskel.
”Päivitys parantaa merkittävästi laitekantamme kyvykkyyksiä, mahdollistaen 200 mm:n kiekkojen tehokkaan käsittelyn ja uusimpien teollisten teknologioiden sekä prosessien hyödyntämisen. Investoinnit sekä tuotantoprosessin alkupään laitteisiin että kehittyneisiin loppupään prosessivaiheisiin vahvistavat asemaamme mikrovalmistuksen tutkimuksen, kehityksen ja pilotoinnin eturintamassa”, kertoo Oliver Pabst, VTT:n Fab Operations -tiimin johtaja.
”Tavoitteemme on rakentaa johtava eurooppalainen mikroelektroniikan tutkimus- ja pilotointipuhdastila sekä ekosysteemi, joka tukee tutkimusta, kehitystyötä, innovointia, pilotointia ja teollistamista. Asiakkaamme ja kumppanimme hyötyvät laajasti VTT:n uusista kyvykkyyksistä. Investointi on osa laajempaa strategiaa, jolla VTT ja Suomi vahvistavat johtavaa asemaansa eurooppalaisessa erikoistuneen mikroelektroniikan ekosysteemissä”, toteaa Piia Konstari, VTT:n mikrovalmistuspalveluiden johtaja.
Investointeja ovat rahoittaneet Business Finland, Suomen Akatemia, EU:n PREVAIL-hanke ja VTT sen työ- ja elinkeinoministeriön myöntämistä varoista. Projekti alkoi vuonna 2019 ja päättyy nyt vuonna 2025, mikä kertoo muutoksen mittakaavasta, monimutkaisuudesta ja kunnianhimosta.
Muutoksen taustalla on puolijohdeteollisuuden laajalti käyttöön ottama 200 mm:n kiekkokoko sekä yhteensopivuuden varmistaminen eurooppalaisten puhdastilojen kiekkokokojen kanssa. 200 mm:n kiekko on teollisuuden vakiovalinta MEMS-komponenttien (mikrosähkömekaaniset järjestelmät), RF-komponentit (radiotaajuus), integroitujen analogiakomponenttien, integroitujen fotoniikkakomponenttien ja kvanttipiirien valmistukseen. Siirtyminen 200 mm:n kiekkoihin varmistaa yhteensopivuuden tärkeimpien asiakkaiden ja tutkimuskumppaneiden kanssa; näihin kuuluvat useat EU:n johtavat tutkimuslaitokset, jotka ovat jo tässä kiekkokoossa.
Kehittyneiden 200 mm:n kiekkoja tukevien prosessointilaitteiden saatavuus kasvaa nopeasti, kun taas vanhempien 150 mm:ä tukevien laitteiden tuki ja saatavuus vähenevät. Siksi päivitys 200 mm:n kiekkoihin on paitsi strateginen, myös välttämätön kilpailukyvyn ja markkinoilla pysymisen kannalta. Lisäksi 200 mm:n kiekot mahdollistavat laajan valikoiman erikoisratkaisuja, kuten Silicon-on-Insulator (SOI) -kiekkojen käytön. Näiden avulla voidaan toteuttaa edistyksellisiä valmistusratkaisuja, kuten monoliittisen integraation CMOS-teknologian kanssa, kiekkojen liittämisen toisiinsa sekä sirujen kiinnittämisen kiekolle. Näillä kyvykkyyksillä luodaan pohjaa tulevaisuuden innovaatioille, mahdollistaen entistä monimutkaisempien järjestelmäarkkitehtuurien ja integraatioratkaisujen kehittämisen VTT:llä ja suomalaisessa ekosysteemissä.
MEDIAMATERIAALI
Kuvat 1–3: 200 millimetrin piikiekkojen käsittelyä VTT:n Micronovassa. (Kuvalähde: VTT)
