Mikrovalmistus on modernin teknologian edellytys. Sen avulla kehitetään ja tuotetaan mikroelektroniikkaa, joka mahdollistaa nykypäivän anturi-, laskenta- ja viestintäteknologiat. Kiristyvä teknologinen kilpailu vaatii yrityksiltä yhä nopeampaa innovointia, uusien ratkaisujen testaamista sekä mikroelektroniikan valmistusprosessien toimintavarmuutta. VTT:n mikrovalmistuksen ja pilotoinnin palvelut perustuvat vuosikymmenten asiantuntemukseen ja huippuluokan puhdastilainfrastruktuuriin. Tuemme sinua kaikissa kehitysvaiheissa aina tutkimuksesta ja prosessikehityksestä prototyyppien valmistukseen, pilotointiin ja kaupallistamiseen.
Lyhyesti
Nopeuta uusien tuotteiden markkinoilletuloa VTT:n asiantuntemuksen avulla. Tarjoamme palveluita kaikkiin kehitysvaiheisiin materiaalien ja laitteiden tutkimuksesta ja kehityksestä prototyyppien valmistukseen, pilotointiin ja pienimuotoiseen tuotantoon.
Hyödynnä yhteiskäyttöistä mikroelektroniikan kehitysympäristöä. Micronovan puhdastilat soveltuvat mm. MEMS- ja RF-komponenttien, integroidun fotoniikan, kvantti- ja suprajohtavien komponenttien ja tehoelektroniikan komponenttien valmistukseen sekä post-CMOS-prosessointiin.
Vauhdita liiketoimintasi kasvua lisensoimalla VTT:n kehittämiä prosessi- tai laiteteknologioita.
Puolijohteiden kysyntä lisää mikrovalmistuksen tarvetta
Puolijohteiden kysynnän odotetaan kasvavan voimakkaasti lähivuosina digitalisaation, kulutuselektroniikan lisääntyvän käytön, teollisuusjärjestelmien kehityksen ja sähköajoneuvojen yleistymisen myötä. Tämä kehitys lisää tarvetta mikrovalmistukselle sekä innovatiivisten laitteiden ja järjestelmien pilotoinnille.
Pilotointi nopeuttaa innovointia ja markkinoilletuloa
Yhteistyö VTT:n kanssa tuo yrityksesi käyttöön korkeatasoisia mikrovalmistus- ja pilotointipalveluja. Niiden avulla voit karsia tuotekehityskustannuksia ja nopeuttaa tuotteiden markkinoilletuloa. Voit myös testata uusia konsepteja joko kokeellisin tai pilotointimenetelmin, mikä vauhdittaa teknologian kehitystä ja innovaatioiden syntyä.
Tarjoamme pääsyn myös puhdastiloihimme ja laitteistoihimme. Yhteiskäyttöinen mikroelektroniikan infrastruktuurimme mahdollistaa resurssien jakamisen useiden toimijoiden kesken. Kun puhdastiloja ja laitteistoja käytetään yhteisesti, energian, veden ja materiaalien kokonaiskulutus pienenee. Yhteiskäyttö on kannattavaa niin taloudellisesti kuin ympäristön näkökulmasta.
Micronovan puhdastilat
VTT:n mikrovalmistuspalvelut
Mikrovalmistuspalvelumme koostuvat kolmesta osa-alueesta: tutkimus- ja kehityspalveluista, PDKhin perustuvista pilotointipalveluista sekä puhdastilan laitekäyttöpalveluista. Näiden avulla voit suunnitella ja valmistaa komponentteja VTT:n vahvaa osaamista ja monipuolisia teknologioita hyödyntäen.
Palvelumme on suunniteltu spin-off- ja startup-yrityksille, pk- ja suuryrityksille, tutkimusorganisaatioille sekä korkeakouluille. Meiltä saat koko kehityskaaren saman katon alta aina tutkimuksesta ja prosessikehityksestä prototyyppien valmistukseen, pilotointiin ja pienimuotoiseen tuotantoon. Kokonaisvaltainen toimintamalli auttaa muuttamaan tutkimustulokset kaupallisesti kannattaviksi tuotteiksi tehokkaasti ja vastuullisesti. Jokainen projekti räätälöidään aina asiakkaan tarpeisiin.
Keskeiset osaamisalueet ja tuetut teknologiat
VTT:n tutkimus- ja innovaatiotoiminta kattaa laajan joukon teknologioita, kuten MEMS- ja RF-teknologiat, integroidun fotoniikan ratkaisut, kvanttiteknologiat, analogisen laskennan, post-CMOS-prosessoinnin, tehoelektroniikan sekä mikroelektroniikan materiaalikehityksen.
Micronovan ja Kvanttinovan yhteiskäyttöisissä puhdastilaympäristöissämme yritykset voivat hyödyntää laajaa valikoimaa 200 mm:n prosessointimahdollisuuksia, jotka tukevat mikro-, nano- ja kvanttiteknologian eri sovelluksia. Jatkossa tarjoamme myös 300 mm:n prosessointimahdollisuuksia.
2D-materiaalit ja post-CMOS-integraatio
- Grafeenipohjaiset biosensorit
- Ferroelektriset haihtumattomat muistit
- Post-CMOS-integraatio
Keskeiset prosessit
- i-line-, maskiton ja EBL-litografia
- Cu Damascene- ja Cu TSV -prosessit BEOL-vaiheessa
- Laaja valikoima ALD-ohutkalvoja
- WLP
Integroitu fotoniikka
- Passiiviset ja aktiiviset komponentit 3 µm:n SOI-alustalla
- SiN piifotoniikka
- Fotoniikan integrointi kryogeenisiin sovelluksiin
Keskeiset prosessit
- KrF DUV- ja i-line-litografia aaltojohteiden kuviointiin
- SiGe-epitaksia aktiivisille laitteille
MEMS
- SOI-MEMS-, piezo-MEMS- ja Surface MEMS -laitteet
- Fabry-Perot-interferometrit
- Akustiset, kaasu- ja hiukkassensorit
Keskeiset prosessit
- LTCC-paketointi
- Piikiekkojen liittäminen
- CMP
RF-teknologiat
- 5G/6G BAW-suodattimet, taajuusalue 7–15 GHz
- Integroidut passiiviset komponentit
- 3D-integraatio ja pakkausteknologiat
Keskeiset prosessit
- AlN/ScAlN-pohjaiset piezomateriaali stackit
- Cu TSV:t
- Ionisuihkutrimmaus
Suprajohtavat teknologiat
- Suprajohtavat kubitit
- Kvanttianturointi
- Josephson-logiikka
- Kryogeeninen CMOS
- 3D-integraatio
Keskeiset prosessit
- Kolmikerroksiset Josephson-liitokset
- Manhattan-kubitit
- Suprajohtavat TSV:t ja flip-chip-liitokset
Tehoelektroniikka
- Teho-HEMT-transistorit
Keskeiset prosessit
- MOCVD GaN
Teknologiat ja infra
Suomen prosessointikyvykkyyksien vahvistaminen eurooppalaisten pilottilinjojen avulla
VTT on mukana useissa eurooppalaisissa Chips Joint Undertaking -pilottilinjoissa. Yhteistyö vahvistaa asemaamme puolijohde-ekosysteemin keskeisenä toimijana ja Suomen roolia osana eurooppalaista verkostoa. VTT osallistuu muun muassa FAMES-, APECS-, NanoIC- ja PIXEurope Chips JU -pilottilinjoihin.
EU:n, työ- ja elinkeinoministeriön sekä Business Finlandin rahoituksella VTT edistää Suomen valmiuksia vaativien mikrosirujen valmistukseen. Samalla hankitaan uusia prosessointivalmiuksia ja päivitetään olemassa olevaa laitekantaa. Nämä investoinnit parantavat Suomen kilpailukykyä ja pääsyä kriittisiin teknologioihin sekä vahvistavat maamme asemaa eurooppalaisessa mikrosirujen arvoketjussa.
Uudet laitteistot ja prosessointiteknologiat sijoitetaan VTT:n Micronovan tiloihin sekä uuteen Kvanttinova-hubiin Otaniemeen. Sekä yritykset että koko innovaatioekosysteemi pääsevät hyödyntämään näitä uusia kyvykkyyksiä sekä VTT:n nykyistä prosessointi-infrastruktuuria Micronovan puhdastiloissa.
Tutkimusekosysteemi huippuluokan infrastruktuurin ympärillä
VTT:llä on keskeinen rooli kotimaisen mikroelektroniikan, integroidun fotoniikan ja kvanttiteknologian tutkimuksessa, kehityksessä ja innovoinnissa. Olemme osa OtaNanoa, Suomen kansallista mikro-, nano- ja kvanttiteknologioiden tutkimusinfrastruktuuria. Uusi Kvanttinova-ekosysteemi rakentuu VTT:n teknologiainfrastruktuurien ja Aalto-yliopiston tutkimusinfrastruktuurien ympärille.
Monet suomalaiset mikroelektroniikkayritykset ovat VTT:n spinoff-yrityksiä tai hyödyntävät sen yhteiskäyttöisiä puhdastiloja Micronovassa.
Kysymyksiä, joissa voimme auttaa
- Miten voin hyödyntää VTT:n mikrovalmistuksen ja pilotoinnin palveluita?
- Kuinka voin nopeuttaa uusien laitteiden kehitystä ja validointia edistyneitä mikrovalmistusteknologioita hyödyntäen?
- Miten voin hyödyntää VTT:n immateriaalioikeuksia ja prosessiosaamista innovoinnin vauhdittamiseksi?
Yhteistyö kanssamme
Teemme yhteistyötä kanssasi missä tahansa kehitysvaiheessa, aina alkuperäisestä ideasta toteutukseen saakka. Jokainen tutkimusprojekti on erilainen, ja räätälöimme palvelumme tarpeittesi mukaan.
-
Ota yhteyttä!
Kerro meille tavoitteistasi, niin etsimme parhaat ratkaisut niiden saavuttamiseksi. Alustavan keskustelun jälkeen ehdotamme tavoitteisiisi ja resursseihisi parhaiten sopivaa etenemistapaa. -
Räätälöity kumppanuus
Asiantuntijamme työskentelevät tiiviissä yhteistyössä tuotekehitystiimisi kanssa ja auttavat nopeuttamaan innovaatioprosessiasi. Palvelumme ovat käytettävissäsi tutkimuksesta tuotantoon, ja autamme sinua valmistuksessa ja pilotoinnissa. Teknologiamme on helposti siirrettävissä myös suurivolyymiseen tuotantoon. -
Yhteistyöhankkeet
Teemme usein yhteistyötä eri yritysten ja rahoittajien kanssa tutkimus- ja kehitysprojekteissa. -
Verkostomme ja ekosysteemimme käytössäsi
Teemme yhteistyötä yritysten ja tutkimusorganisaatioiden kanssa ympäri maailmaa ja autamme mielellämme löytämään oikeat kehitys- tai sparrauskumppanit.
Ota meihin yhteyttä!
Tutustu asiantuntijoihimme
FAQ - Usein kysyttyä Micronovasta
Mikä on Micronova ja mitä se tarjoaa?
Micronova on VTT:n puhdastiloista koostuva tutkimusinfrastruktuuri mikro- kvantti- ja nanoelektroniikan tutkimukseen ja kehitykseen. Se tarjoaa laitteistoja ja asiantuntemusta pilotointiin ja kehittämiseen.
Kuka voi käyttää Micronovan tiloja?
Micronovan yhteiskäyttöisiin puhdastiloihin voivat päästä start-upit, pk-yritykset, suuret yritykset ja tutkimuslaitokset. Käyttäjät hyötyvät yhteistyöhön perustuvasta monikäyttäjäympäristöstä.
Mitä teknologioita Micronovassa voidaan kehittää?
Micronovan tilat soveltuvat muun muassa integroidun fotoniikan, MEMS-teknologian, antureiden, RF-komponenttien, edistyneiden pakkausteknologioiden, piiteknologioiden ja yhdistepuolijohteiden kehitystyöhön.
Miten Micronova edistää kestävää kehitystä puolijohteiden tutkimuksessa ja kehityksessä?
VTT soveltaa energiatehokkaita prosesseja, materiaalien kierrätystä ja skaalautuvia tuotantomenetelmiä, jotka tukevat entistä kestävämpää puolijohdealan innovointia.
Voiko Micronova auttaa viemään teknologioita tutkimuksesta pilotointiin ja tuotantoon?
Kyllä voi. Micronova mahdollistaa saumattoman siirtymän konseptista pienimuotoiseen valmistukseen ja tarjoaa pääsyn suunnittelu-, valmistus-, testaus- ja integraatiopalveluihin.
Usein kysyttyä -osio on tekoälyn kirjoittama ja ihmisen tarkistama.
